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4月24日，深圳基本半導體有限公司車規(guī)級碳化硅芯片產(chǎn)線通線儀式在深圳市光明區(qū)舉行。該產(chǎn)線的順利通線，將全面提升粵港澳大灣區(qū)第三代半導體制造實力和核心競爭力，助力國內(nèi)車規(guī)級碳化硅芯片供應鏈實現(xiàn)自主可控。

據(jù)了解，基本半導體車規(guī)級碳化硅芯片產(chǎn)線項目連續(xù)兩年入選深圳市年度重大項目，廠區(qū)面積13000平方米，潔凈室面積超過4000平方米，配備光刻、氧化、激活、注入、薄膜、刻蝕等130臺專業(yè)設(shè)備，具備年產(chǎn)1.8萬片6英寸碳化硅MOSFET晶圓的能力，二期計劃擴產(chǎn)至7.2萬片。按照一片6英寸晶圓能夠滿足7輛新能源汽車的碳化硅功率芯片需求估算，產(chǎn)線每年可保障約50萬輛新能源汽車的需求。該項目通過打造垂直整合制造模式，加快設(shè)計、制造共同迭代，將與深圳本土上下游產(chǎn)業(yè)鏈聯(lián)動發(fā)展，推動先進技術(shù)工藝開發(fā)，形成具有自主知識產(chǎn)權(quán)的下一代碳化硅器件核心技術(shù)。項目同期還將開展國產(chǎn)設(shè)備材料驗證，打造研發(fā)制造人才培養(yǎng)平臺。

近年來，新能源汽車成為全球汽車行業(yè)主流趨勢，對碳化硅功率半導體的需求也日益旺盛?！按舜诬囈?guī)級碳化硅芯片產(chǎn)線的成功通線，是基本半導體打造國產(chǎn)碳化硅功率器件IDM領(lǐng)先企業(yè)的一大重要戰(zhàn)略布局，同時將會為更好應對日益增長的高品質(zhì)國產(chǎn)碳化硅功率芯片市場挑戰(zhàn)打下堅實基礎(chǔ)?！鄙钲诨景雽w有限公司董事長汪之涵表示，作為芯片國產(chǎn)化的踐行者與探索者，基本半導體將依托碳化硅芯片產(chǎn)線，緊抓產(chǎn)業(yè)發(fā)展契機，積極打造碳化硅下一代工藝技術(shù)開發(fā)驗證平臺、國產(chǎn)設(shè)備材料驗證平臺和研發(fā)制造人才培養(yǎng)平臺，提高關(guān)鍵核心技術(shù)研發(fā)能力和創(chuàng)新能力，為實現(xiàn)國內(nèi)車規(guī)級芯片供應鏈自主可控貢獻力量。

據(jù)介紹，基本半導體公司自2017年開始布局車用碳化硅器件研發(fā)和生產(chǎn)，目前已掌握碳化硅芯片設(shè)計、晶圓制造、模塊封裝、驅(qū)動應用等核心技術(shù)，建立了完備的國內(nèi)國外雙循環(huán)供應鏈體系。目前，該公司汽車級碳化硅功率模塊產(chǎn)線也已實現(xiàn)全面量產(chǎn)，采用自研芯片的碳化硅功率器件已累計出貨超過3000萬顆，服務(wù)光伏儲能、電動汽車、軌道交通、工業(yè)控制、智能電網(wǎng)等領(lǐng)域的全球數(shù)百家客戶。（經(jīng)濟日報記者 楊陽騰）

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