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阿斯麥與imec簽署備忘錄 共同開發(fā)最先進high-NA EUV微影試驗制程
2023-06-30 10:14:29 來源:科技頭條 編輯:

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據(jù)科創(chuàng)板日報,比利時微電子研究中心(imec)與阿斯麥(ASML)今日宣布,雙方已簽署備忘錄加強合作,共同開發(fā)最先進high-NA極紫外光(EUV)微影試驗制程。雙方指出,該試驗制程的目標是協(xié)助采用半導體技術(shù)的所有產(chǎn)業(yè),并提供一套能在未來支援創(chuàng)新的原型設(shè)計臺。

關(guān)鍵詞: 阿斯麥公司 共同備忘錄 合作開發(fā)

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